クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

クス製品の構造解析を クロスビームFIBによる断面観察で行います。 １）FIB加工をリアルタイムで観察できるため目的の箇所を確実に捉えます。 ２）2つの二次電子検出器（In-Lens/チャンバーSE）により試料から様々な情報が得られます。 ３）加工用FIBと観察用低加速SEMを1つのチャンバーに集約し大気に曝すことなく観察。 ４）拡散層：PN界面の可視化が可能。N+/N-及びP+/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス