全自動装置　BATCHSPRAY Acid Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

全自動装置BATCHSPRAY Solvent Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

全自動装置　BATCHSPRAY Clean Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この4チャンバーシステムは、使用時点での混合化学物質を特許取得済みのリテーナーコーム処理システムと組み合わせて優れたプロセス結果を実現することを特徴としています。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用し...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

半自動装置　BATCHSPRAY Solvent

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

す。 【特長】 ■最大150wphのスループット ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■sic/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ■ATEX安全規格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

半自動装置　BATCHSPRAY Acid

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

50wphのスループット ■ばらつきが1％未満の均一性 ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■sic/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセス...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社