【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』

数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…

超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン