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「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…
【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで,真空チャンバーを 用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので,実際の装置の形状そのまま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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