【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

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3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

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【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間...

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【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間...

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設備稼働率シミュレーション AvSimモジュール

設備資産のパフォーマンス改善！メンテナンス戦略策定・予備品戦略策定と最…

Availability Workbench AvSimモジュールは、予備品の保有量により 設備のライフサイクルコストに及ぼす影響をシミュレーション することができます。 また、設備の稼働率やパフォーマンスについても シミュレーションすることが可能。 スペアパーツの依存関係をモデル化し、在庫レベルの最適化を実現します。 ...

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【事例】MaterialsStudioのSTMシュミレーション

『Materials Studio』でのPd上にあるCOのSTM像…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇「Pd上にあるCOのSTM像シュミレーション」の事例 ・STMシミュレーションでPdに吸着したCOの違いを非常に簡単に区別できます。 ・STMイメージの形状は、コントラストが主にCO分子のπ軌道によるものであることを示唆しています。 ・色は状態の合計密度に対応し、白...

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【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

【ツール】 ■量子力学シミュレーションツール ■古典的シミュレーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析...

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【事例】MaterialsStudio充電放電 における電極膨張

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

【ツール】 ■量子力学シミュレーションツール ■古典的シミュレーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析...

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半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(...

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表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！ たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！...

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高速プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

『Particle-PLUS/DL』は、従来のプラズマシミュレーションでの課題を 解決するCAE代理(サロゲート)モデルソフトウェアです。 「第四の科学」として注目を浴びている深層学習×CAEを融合。 高速計算でパラメトリックスタディを実現し、プラズ...

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【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

複数の解析ソフトウェアを駆使した『表面処理の特性予測ソリューション』を ご提案いたします。 解析ソフトウェアである「CAEソフトウェア」「分子モデリング」 「分子シミュレーションソフトウェア」を組み合わせることで、 より広い解析対象をカバー。 調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の 解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します。...

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『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。 【特長】 ■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応 ■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成 ■非常に高速で正確、堅牢なソルバー ■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定 ■物理的なテ...

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技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』

【無料進呈】メンテナンス業務の管理・改善及び効率化に寄与するCMMSや…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションの ソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、 ノウハウを凝縮した技術資料『信頼性中心保全(RCM)とCMMS』を無料プレゼント中！ 信頼性中心保全とは？...

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技術資料vo.2『0からはじめるIoTで予知保全』

【無料進呈】IoTを活用した予知保全を実現するための最初のステップを紹…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションの ソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、 ノウハウを凝縮した技術資料『0からはじめるIoTで予知保全』を無料プレゼント中！ 予知保全を行う際に何から...

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半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対...

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材料開発シミュレーション『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 ...

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真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

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プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得...

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3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得...

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CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応...

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ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間...

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粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

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半導体材料開発解析ソフト『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 ...

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真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーショ...

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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

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粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In C...

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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

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