【事例】走査型電子顕微鏡（SEM）の直流磁場障害対策

アクティブ磁場キャンセラにより直流変動磁場を1/100以下に低減した事…

す。 オフィスビル内のデモルームに設置されたSEMについて、周辺鉄道路線に 起因する磁場影響をアクティブ磁場キャンセラで低減し環境を改善。 アクティブ磁場キャンセラは対象装置の周囲にコイル等を設置するだけで 大きな改善効果が得られます。 【事例概要】 ■対策のポイント：直流方式の鉄道路線付近では常時大きな磁場変動が発生 ■原因：対象ビル付近に位置する複数の鉄道路線 ■...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社