半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞

極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧…

半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社