PRECIBEO　エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ

標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダ…

・小型・高推力ピエゾモーター使用 アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。 ・2nmの最小ステップ 内蔵...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

New Concept Motor 「ピエゾモーター」

幅広いスピードダイナミックレンジ！

New Concept Motor 「ピエゾモーター」は、位置決め機構やステージなどに簡単に組み込み可能な小型アクチュエータです。 半導体製造装置や大口径レンズミラーマウント用に適した高出力タイプ。 広範囲な用途に使用できる新しいコンセプト、ピエゾモーターです。 【特徴】 ○高分解能 ○長いストローク...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社