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最大8インチMEMSラインを有するオムロン野洲事業所にてウェハ工程の試…
実績: MEMSセンサ(圧力センサ、加速度センサ、流量センサ、赤外線センサ、音響センサ など) MEMSアクチュエータ(マイクロミラー、RF MEMS など) 各種半導体(IC、パワーデバイス など) 光学素子(アパーチャ、レンズ など) 機能構造(poly-Si TSV など) 加工...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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