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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
PC制御:操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法:1,767(W) x 754(D) x 1,645(H)mm ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。 ●マルチチャンバー式も製作可能です。...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
PC制御:操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法:1,767(W) x 754(D) x 1,645(H)mm ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。 ●マルチチャンバー式も製作可能です。...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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