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シロキサンガスによるウェハー汚染や接点障害を抑制!シロキサン含有量が5…
シロキサンフリーペースト状シール材『HVF-1』はシロキサン含有量が5μm以下なので、シロキサンによる被害を抑制します。 シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。 【特長】 ■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り ■常...
メーカー・取り扱い企業: 太平化成株式会社
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