ギヤポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

PumpLinx は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

PumpLinx は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

バルブに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

バルブや容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ 他のCFDソフト…

Simerics MP+ は、様々なバルブ、ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強いCAEソフトウェア『SimericsMP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

PumpLinx は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギアポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

弁に強い流体解析ソフトウェア『SimericsMP+』

弁や容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ 他のCFDソフトが苦…

SimericsMP+ は、様々な弁、容積形ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MPを基盤として開発されており、Simerics MPの全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

弁に強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

弁や容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ 他のCFDソフトが苦…

PumpLinx は、様々な弁、容積形ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ベーンポンプに強い流体解析ソフトウェア Simerics MP+

ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ 他のCF…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

歯車ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギアポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのまま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

ギヤポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電動ポンプに強い流体解析ソフトウェア『Simerics MP+』

ギアポンプ・ベーンポンプなど容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！…

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのまま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発シミュレーション『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

ツールを活用し連携する事により、より効率よく、より簡単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強いCAEソフトウェア『SimericsMP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強いCAEソフトウェア『Simerics MP+』

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ツインスクリューコンプレッサーに強いSimericsMP+

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』

世界で唯一のアーク放電専用解析ソフトウェア！点火プラグ、遮断器の解析に…

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。 点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。 国内でも完成車メーカー、重点メーカーを中心に多くの実績があり、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

第一原理計算には『Materials Studio』

材料開発シミュレーションソフト マテリアルズインフォマティクスに適応…

『Materials Studio』 第一原理計算、量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 「マテリアルズインフォマティクス」 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』

材料開発シミュレーションソフトウェア 量子力学、古典力学、メソスケー…

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 「マテリアルズインフォマティクス」 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CFRP(炭素繊維)等解析に『Materials Studio』

CFRP(炭素繊維)などの溶解解析シミュレーション はじめ、さまざまな…

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

高機能材料の解析に『Materials Studio』

高機能材料などの解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に…

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプやベーンポンプ、バルブの解析『SimericsMP+』

解析出来ると言って実際は出来ないソフトや、出来るけどメッシュ作成などに…

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの解析に非常に強みを持つ、流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション(CFD)ソフトです。 【以下の流体解析(CFD)が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音...

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トライボケミカル解析に『Materials Studio』

トライボケミカル(潤滑)反応のシミュレーション はじめ、さまざまなタ…

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざま...

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混合ポリマーなどの解析に『Materials Studio』

ポリマーなどの溶解解析などのシミュレーション はじめ、さまざまなタイ…

『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　　業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざま...

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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...

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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・...

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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社