日本機能材料株式会社
先端機能材料の発掘とその迅速な普及を通じて、社会の発展と人々の生活スタ…
日本機能材料は高度な「4族」のエピタキシャル成長サービスをその最重点事業といたします。 具体的にはSi、SiGe、SiGeC、Ge、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(Silicon on Sapphire)等のエピ成長が対象になります。これに3/5族(ボロンやリンなど)をドープした多層膜を形成します。トレンチへの埋め込みエピ成長も受けております。選択成長も行います。一層…