『大気圧プラズマ装置』は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な
環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができる装置です。
「ダイレクト方式」と「ジェット方式」の2種類の照射方式を採用しており、
様々なプロセスに対応可能。
大気圧プラズマを利用すると、通常では起こりえない様々な現象が起こります。
主な用途としては、通常の洗浄では除去が難しい素材表面の微細な有機物等を
分解、気化することによる洗浄効果や、表面組成の分解、再組成などによる
表面改質などがあります。
【ダイレクト方式 特長】
■向かい合った2枚の電極間に高電圧をかけ、処理用ガスを送り込むことで発生した
プラズマガス中に処理対象素材を通過させる
■導電性の処理対象素材を電極の片側として利用し、電極と素材間にプラズマを
発生させる
■電圧をかけた空間に処理用ガスを送り込む方式のため様々なガスに対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大気圧プラズマ装置
【ジェット方式 特長】
■プラズマ発生用電極をガス通路内に設け、窒素ガスを高速で送り込むことにより、
フラズマにより活性化したガスを放出する方式
■高電圧が流れる電極部が装置内部に格納されているため安全性が高い構造
■高速でON-OFFを繰り返す交流電源を使用
■プラズマガスが高温状態になる時間が非常に短い
■放出される活性ガスの温度は、60℃以下のため、対象物への熱の影響は少ない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | - |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■素材表面の微細な有機物等を分解、気化することによる洗浄効果 ■OH基などの水酸基の加飾による親水性の向上 ■表面組成の分解 ■再組成などによる表面改質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ大気圧プラズマ装置
取扱企業大気圧プラズマ装置
-
-
【電子部品関連】 ■機能性材料 固体・液体樹脂材料 半導体封止材 高純度ポリイミド樹脂 機能性フィルム ダイシング・ダイアタッチフィルム ACF（異方性導電フィルム） 保護フィルム（仮固定テープ） ■配線板材料 基板材料（汎用材、高機能材） 感光性ドライフィルム はんだ材料 ■副資材 工業製品用脱酸素乾燥包装 ■接着剤 高機能エポキシ系接着剤 ■設備治工具 検査用部品（樹脂・セラミック・金属） ウェハ研磨キャリア ポリイミド「べスペル(R)」材料 テフロン(R)コーティング 各種金属表面処理 金属スパッタ ■製造設備 金型・一般用洗浄機 鋳造金型用部品 真空チャック ファインバブル生成器「SIO」 マイクロバブル 整流ノズル(クーラントノズル) ウルトラ 小型コンプレッサ 【住宅設備関連】 ■給湯機・水廻り部材 配管用断熱発泡体 樹脂三方弁・継手 ■組立ユニット 介護ベッド用・ブラインド用コントロールユニット ■家庭用燃料電池関連部材 断熱材 イオン交換樹脂 【RFID関連】 ■ICカード、ICタグ 各種タグ
大気圧プラズマ装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。