ビカ・ジャパン株式会社 【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

【半導体ガス 高純度ガス 圧力センサ】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証 ATEX, IECEx, (KOSHA)
・保護等級 IP67(NEMA 4) 
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ(最小) -0.1...0.1 MPa
圧力レンジ(最大) -0.1...36.0 MPa
安全超過圧     圧力レンジ×2倍
受圧部材質     プロセスコネクション:316L VIM/VAR
          薄膜センサー: 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ     エレクトロポリッシュ加工
           Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号      4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度      0.5% ( 0.2MPa以下では、1.0%)

基本情報【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

半導体ガス・高純度ガスの圧力センサ/圧力トランスデューサ

価格帯 1万円 ~ 10万円
納期 お問い合わせください
※短納期対応ご相談下さい
型番・ブランド名 WUC-1x シリーズ 圧力センサ/圧力トランスデューサ
用途/実績例 ・半導体製造装置
・プラズマディスプレイ製造装置
・ガス集積ユニット
・ガスキャビネット
・バルブマ二ホルド
・高純度ガス圧力測定
・半導体特殊ガス圧力測定

カタログ【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

取扱企業【半導体ガス】 WUC-1x 圧力トランスデューサ

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ビカ・ジャパン株式会社

各種製造機械、半導体製造装置、オイル・ガス・化学プラント、発電所等殆ど全ての産業分野にて使用される機械式・電子式の圧力計・温度計、液面計、流量計、荷重計、校正器等の輸入販売を行っています。

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