アップ・テック・ジャパン株式会社 ガス精製フィルター『02Kシリーズ』
- 最終更新日：2020-06-15 17:02:18.0
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最大流量100slpm・公称流量20slpm！
『02Kシリーズ』は、室温型ガス精製器で、ガスに含まれる不純物を
ほとんどの場合1ppb未満に除去するガス精製フィルターです。
窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を
含めた様々なガスから不純物を除去するように設計されています。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■寿命
・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年
(具体的な寿命についてはお問い合わせください。)
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報ガス精製フィルター『02Kシリーズ』
【精製対象ガス】
<媒体>
■C：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2
■CA：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2
■CA：H2、H2mix
■F：C2F6、C3F8、C4F8、CCIF3、CCI2F2、CCI4、CF4、CHCIF2、CHF3、CH3F
■OX：CDA、O2 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログガス精製フィルター『02Kシリーズ』
取扱企業ガス精製フィルター『02Kシリーズ』
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■超高純度ガス精製装置輸入・販売 ■環境・ガス分析装置輸入・販売 ■ガスサンプリングシステム機器販売 ■産業機器関連・先端材料等輸入・販売 （有機ＥＬ材料 ゲッター剤 乾燥剤 ゲッターポンプ 他材料） ■次世代エネルギー関連機器輸入・販売 他
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