アップ・テック・ジャパン株式会社 ガス精製フィルター『01Kシリーズ』
- 最終更新日:2020-06-15 17:18:00.0
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ガスに含まれる不純物がほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます!
『01Kシリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、
アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから
不純物を除去するように設計されたガス精製フィルターです。
用途に合わせて柔軟に対応が可能で、流量を基準とした各サイズに加えて
多種多様なバルブ形状およびフィルター形状も取り揃えています。
【仕様】
■最大流量:50slpm(150psig時の理論値) with FP
■公称流量:10slpm
■材質:本体316L ステンレス製
■フィルター
・内蔵型メタルフィルター 標準:0.1μm オプション:0.003μm
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報ガス精製フィルター『01Kシリーズ』
【その他の仕様】
■最大作動圧力:~0.97MPa(設計限界圧力 200psig)
■温度定格:40℃
■入口:オスVCR
■出口:オスVCR
■長さ(面間):224mm
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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