漏洩の可能性を削減する二重構造液路！高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を
実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。
特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも
設置することが可能。
また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた
ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが
できます。
【特長】
■特許取得済加熱技術
■トップレベルの応答時間
■高純度液路
■窒素パージ不要
■液気対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報UFシリーズヒーター
【その他特長】
■高純度テフロンPFA-HG管を使用した高純度液路により、パーティクルトラップ
としてのエラストマーOリング、デッドレグ(液溜り)が不要
■特許取得済みの加熱技術により、超高速の温度応答を実現し信頼性を確立
■既存の薬液供給装置に容易に組み込み、接続が可能
■効率的な熱伝達および低レジデント薬液量により、流量および温度設定値変更に
対する高速応答を実現
■薬液路の万一の漏洩を考慮した安全システムを採用し、不適切な取り扱いが
あった場合でも、漏洩の可能性を削減する
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログUFシリーズヒーター
取扱企業UFシリーズヒーター
-
-
半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品販売
UFシリーズヒーターへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。