光進電気工業株式会社 高周波超音波洗浄処理システム

最小0.1μmからのパーティクルを除去!半導体ウェハなどの洗浄に

当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する
高周波超音波洗浄処理システムです。

半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。

ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムを
ラインアップしています。

【特長】
■微細凹凸部のダストを超音波で除去
■400kHz~5MHzのトランスデューサを備える
■最小0.1μmからのパーティクルを除去
■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高周波超音波洗浄処理システム

【洗浄対象例】
■半導体ウェハ
■マスク
■LCD
■サブストレート
■MEMS
■太陽光関連
■微細構造部品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ高周波超音波洗浄処理システム

取扱企業高周波超音波洗浄処理システム

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光進電気工業株式会社 自然計測ディビジョン

<自然計測ディビジョン>では、 道路・ハイウエイ、大気環境観測、交通鉄道、発電・電力、船舶、河川・地下水・水文市場向けの観測器器の生産・販売・保守メンテ・設置工事を承っております。 <ミニモディビジョン>では、 欧州製高性能小型DCモータの販売を行っています。 1個からの販売を特色としています。

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