環境・ガス分析装置　水素質量分析器　HEMS-M アップ・テック・ジャパン

水素ガス中の不純物の測定が可能な環境・ガス分析装置です。

水素質量分析器　HEMSは、1pptレベルの検出限界を持つフルスペクトル分析器です。
この分析器は自己校正機能を備え、短いサイクルタイムで、オンラインの不純物モニターとしてご使用いただけます。
コンパクトな上、多様なポイントで素早いサンプルの検証をするため、自動運転で操作がしやすくなっています。
HEMS(水素除去質量分析計)分析器は、Power+Energyが特許を取得しているパラジウムの拡散技術を、先進の四極質量分析と組み合わせたものを使用しています。
他の分析器と比較すると、手頃な価格で幅広い範囲での不純物の検出を提供します。

【特徴】
○ゼロガス用
○分析用 RGA チャンバー
○自動運転
○タッチディスプレイ
○モデル
→HEMS T：超高純度ガス分析用、pptレベル
→HEMS B：高純度ガス分析用、ppbレベル
→HEMS M：SAE J2719/ISO14687-2を必要とする燃料用途、ppm/ppbレベル

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基本情報環境・ガス分析装置　水素質量分析器　HEMS-M

【仕様】
○H2 入口純度
→HEMS T：99.99999％
→HEMS B：99.999％
→HEMS M：99.97％
○検出限界
→HEMS T：10ppt
→HEMS B：100ppt
→HEMS M：1000ppt
○応答時間：10 分(標準)
○操作環境：10℃-40℃
○ガス流量：2.000sccm(max)
○入口圧力：0.97MPa （11.4Barg)max
○接続：USB イーサネット,RS-232
○計器用空気：0.69-0.90MPa (4.8-6.2 Barg)
○接続タイプ/ガス抜き接続：1/4"MVCR 入口/出口　ハウススクラバー
○電源：100-240VAC 50/60Hz
○寸法：711×470×508mm (28"W×18.5"D×20"H)
○重量：73.6kg(162 lbs)

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用途／実績例	【用途】 ○LED の製造 ○太陽電池の製造 ○GaN,SiC のパワー半導体 ○ポリシリコンの製造 ○シリコンデバイスの製造 ○LCD ディスプレイのプロセス ○水素ステーション・水素精製 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。