濃度安定性を重視したコンセプトモデル
測定濃度安定性を重視したコンセプトモデル。
半導体製造工程などの高精度・高安定濃度計側が必要とされるシーンで効果を発揮。
薬液中の超音波伝播速度（音速）は薬液濃度及び温度によって変化する特性があり、本濃度計は薬液中の音速・温度を高精度に測定します。
この音速・温度情報を基に内臓データロムに記録した検量線により濃度を演算し、出力します。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報超音波単成分濃度計（高機能モデル）FUD-1 Model-130
【特徴】
○高精度・高安定濃度計側が必要とされるシーンで効果を発揮
○高精度での連続計測が可能
○定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
○設置時の各種調整等が不要で設置も容易
○リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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| 型番・ブランド名 | - |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など ○希釈工程における各種薬液濃度管理など（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCｌなど） ○洗浄工程における洗浄液濃度管理など（HF・NH4OH・KOH・IPAなど） ○エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など（HF・H2SO4など） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 |
カタログ超音波単成分濃度計（高機能モデル）FUD-1 Model-130
取扱企業超音波単成分濃度計（高機能モデル）FUD-1 Model-130
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