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      • 精密空調『SA-Pシステム』 工場・研究棟の高品質空調に! 製品画像

        精密空調『SA-Pシステム』 工場・研究棟の高品質空調に!

        新技術”ヒートポンプダイナミクス”が空調の大幅な省エネを実現します。

        新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、 独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、 強力な熱パックを生成。 冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル…

      • クリーンパーテーション 製品画像

        クリーンパーテーション

        HEPAフィルター付きクリーンパーテーション!

        空間清流で感染対策 / 塵埃対策! =プッシュ・プル空間清流で、より安心な環境を!= 医療従事者の感染リスクを低減。小規模な作業スペースでの、塵埃付着の悩みを軽減します。 送風機(吹出…

      • 装置の代替改造とEOL部品の修理サービス 製品画像

        装置の代替改造とEOL部品の修理サービス

        SCREEN装置を継続ご使用戴くための技術サポート!装置環境に的確に対応します

        当社では、部品調達や修理が困難な装置でも様々なご提案で継続稼働の サポートを行う『装置の代替改造とEOL部品の修理サービス』を承っております。 通常、部品修理については、部品交換・修理・代替部…

      • 装置リフレッシュ・サービス 製品画像

        装置リフレッシュ・サービス

        安価な簡易点検による診断!装置の状態と適したメンテナンスプログラムを確認可能

        当サービスは、SCREEN装置を長期に渡って安定して ご使用いただくための技術サービスプランです。 現在お使いの装置を、経験豊富な専門技術者が診断。 適した「装置リフレッシュメニュー」をご提…

      • 耐薬エプロン『セバプロン』 製品画像

        耐薬エプロン『セバプロン』

        危険薬液の飛散リスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保!

        『セバプロン』は、作業服・無塵服の上に着用する耐薬エプロン。 危険な薬液作業に必須! 多くの半導体関係企業様・薬液取り扱い企業様で標準採用いただいています。 安全性と作業性を両立した「…

      • フォトリソ・メンテナンス用ライト 製品画像

        フォトリソ・メンテナンス用ライト

        イエローライトなので、露光装置、コータデベロッパ装置のメンテナンスが安心!

        『SEBAPRO Light』は、 光源にレジスト感光波長域を持たないLEDを使用したメンテナンス用ライトです。 分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能。小型なので持ち歩き…

      • 卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様> 製品画像

        卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>

        コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

        ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発に…

      • クリーンベンチ 製品画像

        クリーンベンチ

        手軽にクリーンな作業スペースを確保!クラス100の清浄度を保つクリーンベンチ

        『クリーンベンチ』は、手軽にクリーンな作業スペースを確保します。 清浄空気が正面から後方へ流れる水平流形と、 天井側から下方向に流れる垂直気流の2種類を準備。 作業台エリアを集中的に、ク…

      • 簡易クリーンブース 製品画像

        簡易クリーンブース

        安価に構築したい時にお勧め!約1時間で設置可能な組立式クリーンブース

        『簡易クリーンブース』は、精密機器のセル生産、組立、部品の梱包、 検査エリアの確保に好適な組立式クリーンブースです。 作業台100Vコンセント仕様により、電気工事不要。 クラス1,000~1…

      • クリーンブース 製品画像

        クリーンブース

        作業性・環境性能アップのために、多くのオプションをご用意!

        『クリーンブース』は、安価でクリーンルーム環境を構築できます。 クラス100~10,000のクリーンルーム環境の設営が可能。 連結使用で、広いクリーンルーム環境、レイアウト変更にも対応します。…

      • 昇圧機能付き『純水加温ユニット』 製品画像

        昇圧機能付き『純水加温ユニット』

        新標準の純水加温ユニット! 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟に対応します。

        『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、…

      • 純水供給圧の不足や変動の問題を解消!純水昇圧ユニット 製品画像

        純水供給圧の不足や変動の問題を解消!純水昇圧ユニット

        工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決! 安定した供給を実現します。

        純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消!安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。…

      • 株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】 製品画像

        株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

        製造ラインの「性能アップ」と「安定稼働」を支えるお客さまの技術パートナー

        プロセス装置の最適化改造から、工場内の各種周辺機器のご提供まで、お客様の製造ラインの安定稼働と生産性アップに貢献します。 近年、電子デバイスの高性能化と多様化に伴い、製造環境の最適化は、ますます…

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