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高精度・精密計測!任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ(傷)、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...
メーカー・取り扱い企業: ソフトワークス株式会社
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