全自動水圧式プレッシャーメータ試験装置『AUTO LLT3』

PR高圧ガス不要。繰り返し載荷試験も対応。全地連「技術フォーラム2024」…

『AUTO LLT3』は、繰り返し載荷試験にも対応している プレッシャーメータ試験装置です。 高圧ガスを使用しない全自動。水圧式、軽量化と取り扱いが容易に。 また、ポンプ制御をすることで応力制御が可能です。 試験開始から終了まで全自動により、各段階の圧力制御とデータ保存を おこない、専用のデータ処理ソフトにより、簡単にデータ整理ができます。 【特長】 ■繰り返し載荷試験に...

メーカー・取り扱い企業： 応用計測サービス株式会社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社