ソフトウェーブ | イプロス都市まちづくり

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半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
世界最速！世界初ハンドヘルド･リアルタイム･スペアナ

最速！コンパクト！軽量！の世界発ハンディタイプ・リアルタイムスペアナ

ハンドヘルド･リアルタイムスペクトラムアナライザ SPECTRAN V5は最短信号伝送でさえもとらえられるように設計されました。スキャンニングスピード及びレコード時間は類をみないもので、20ｍS以下で20GHzをスキャンする世界最速のハンドヘルドスペアナです。このスペアナがあれば、全ての用途を使いこなせます。スペクトルモニタリング、RFとマイクロ波測定、干渉物追跡、EMC測定、Wi-Fiや...

メーカー・取り扱い企業：ウェーブクレスト株式会社
インフラ等の損傷解析ソフトウェアPOLYGONALmeister

インフラや生産設備表面の損傷解析ソフトウェア

無塗装や塗装橋などの橋梁点検において、損傷箇所を効率良く安定した品質で点検するためには、勘と経験に頼った点検手法から脱却し、数値に基づく客観評価が必要不可欠です。 3Dスキャナーで損傷箇所の表面性状を計測し取得した3Ｄデータを「POLYGONALmeister（セイコーウェーブ版）」を用いて、簡単な操作で解析し、変状の数値化、ビジュアル化、csvファイル出力が可能です。 csvファイルをエクセ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セイコーウェーブ
GNSS/GPSシミュレーションソフトウェア

あらゆるニーズに対応する GNSS シミュレーションソフトウェア

XPLORA Core は、初心者にも専門家にも同様に適した GNSS シミュレーターで、GNSS ハードウェアのテストと検証、研究または衛星群のシミュレーションなど、あらゆるニーズをカバーします。より複雑なテストシナリオに合わせて、迅速に作成されたシミュレーションとパラメータを細部に至るまで調整できるため、メリットが得られます。衛星軌道、ナビゲーションメッセージを構成し、オンザフライまたはハー...

メーカー・取り扱い企業：ウェーブクレスト株式会社
スペクトラムアナライザー Eバンド 70–87GHz

フォルクスワーゲンでも採用のスペクトラムアナライザー

＜超コンパクトなフォームファクタ＞さまざまな困難な環境での屋外での使用に便利なように特別に設計された、真のハンドヘルドデバイスです。＜さまざまなアンテナシステムに対応＞他のメーカーのアンテナや無線システムと併用できます。＜抵抗性 LCD タッチスクリーン＞抵抗膜式 LCD タッチスクリーンにより、手袋をしたままでユニットを操作できます。直感的なUIにより、ユニットを簡単に制...

メーカー・取り扱い企業：ウェーブクレスト株式会社
ディープ・メモリー・デジタル・オシロスコープ　SDSシリーズ

スマートデザインのオシロスコープ。幅70mmと大変スリム。

スマートデザインのオシロスコープ。幅70mmと大変スリムだが、機能満載。トリガーパスフェイルやマルチプル・インターフェースがついている。バンド幅は60MHz～300MHｚでモデルによって異なる。画面は8.0インチの大型を採用し、解像度も800×600と高い。...SDSシリーズは、8.0インチの大型カラーディスプレイを採用。TFT型で、解像度は800×600ピクセル。アナログバンド幅は60MH...

メーカー・取り扱い企業：ウェーブクレスト株式会社オウオンサポートデスク
超薄型カラーデジタルオシロスコープ SDS７０７２

SDSシリーズにSDS7072が新ラインナップ！

70mmの超薄型スマートカラーデジタルオシロスコープSDSシリーズにSDS7072が新たに追加されました。バンド幅：70MHｚ、サンプリングレート：1GS/ｓ...SDSシリーズは、8.0インチの大型カラーディスプレイを採用。TFT型で、解像度は800×600ピクセル。アナログバンド幅は60MHz～300MHz, リアルサンプリングレートは500MS/s～3.2GS/sと、設計, 保守, 検出...

メーカー・取り扱い企業：ウェーブクレスト株式会社オウオンサポートデスク
導体抵抗自動モニタリングシステム／導通抵抗モニタリングシステム

試験槽メーカーに依存しない試験が可能なモニタリングシステム。お客様…

・試験槽メーカーに依存しない試験が可能なモニタリングシステム。・お客様の声を反映したオリジナルの集録／解析ソフトとなります。各メーカー（半導体、電装品、材料、樹脂）様民間／国の研究機関受託試験企業等多くのお客様にご利用いただいております。...ICパッケージの実装信頼性寿命を評価する加速試験（ヒートサイクル試験等）において、試験中にはんだ接合部や実装品の導通部分の抵抗を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
コンクリート用超音波探査装置　UCMシリーズソニックエスパー

コンクリート構造物の非破壊探査に貢献する超音波探査装置です。

UCMシリーズソニックエスパーは、従来不可能とされてきたコンクリート内部の検査を実現し、竣工検査､補修範囲選定､劣化程度判定に最適な超音波探査装置です。版厚、クラック計測専用ソフト搭載。鉄筋コンクリートの調査はもちろん、劣化コンクリートの調査も可能。高精度・高深度の探査ができ、ノイズが少なく、判定も簡単です。【特徴】 ○鉄筋コンクリートの調査が可能 ○高深度の探査が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エッチアンドビーシステム
カスタム計測システムサービス　オリジナルの計測/集録システム

お客様の研究開発環境で求められる機能をオーダーメイドでご提供いたします…

『カスタム計測システムサービス』は研究開発環境、及び各種信頼性試験で求められる機能をオーダー・メイドの「カスタム計測システム」という形で提供しています。カスタム計測システム以外にも、受託評価、データ解析ツール (ソフトウェア)作成、治具製作まで、好適なサービスを幅広くご提供。その他、信頼性試験用途等で、一部標準品として販売しているシステムもございます。お客様が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
お客様の「計測」を全力でサポート　カスタム計測システム

お客様のご要望を満足させる3パターンのご提案があります！

WTIではお客様の環境、コストに応じたシステムをご提案いたします。オーダーメイドの「カスタム計測システム」をはじめ、データ処理・解析の「ソフトウエアツール」や、カスタム計測技術を生かした「受託評価サービス」をご提供。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【ご提案】 ■フルカスタムシステムでのご提供 ■市販計測器やレンタル機器をいかしたシステムのご提供 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
【事例】導体抵抗自動モニタリングシステム（導通抵抗モニタリング）

集録と同時にリアルタイム分析が可能！お客様の声を反映したオリジナル…

・試験槽と連動し、導体抵抗の自動モニタリングを行なうことができるシステム・集録と同時にリアルタイム分析が可能・標準チャンネル数192ch　高寿命リレー接点を採用　100M回(10V/100mA) ・試験設備（冷熱衝撃試験機）と連動した制御が可能・高耐熱カスタム測定ケーブルの採用...【特徴】 ○DMMとスイッチユニットの組み合わせによるマルチプレクサ方式採用。 ○2線式/4線式測...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Wave Technology
プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCC...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,マグ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。・低圧プラズマ解析を得意とします・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく...

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