株式会社ハイブリッジ 高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』

高真空仕様!TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定ができます

『HMP-100』は、排気系により<10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の
加熱マイクロプローバです。

加熱温度は最大500℃、□10mm形状のサンプル加熱対応。
TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定ができます。

ご用命の際はお申し付けください。

【特長】
■高真空仕様:排気系により<10^-4Paでの使用可能
■加熱温度
 ・最大500℃対応
 ・□10mm形状のサンプル加熱対応
■低電流測定
 ・TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』

【仕様(抜粋)】
<試料評価室>
■真空チャンバ:φ114×h84mm SUS304/内面#400/外面#400+電解研磨
■フランジ:コンフラット規格
■ベーキング:150℃対応
<測定部>
■プローブ数:4探針プローブ/タングステン針
■測定最少電流:1pA以下(常温)
■対向プローブ間距離:417mm
<加熱機構部>
■加熱温度:最大500℃
■加熱機構制御:DC電源外部制御式PIDコントローラ
■温度センサ:K熱電対
<装置本体>
■装置架台
 ・ゴム足付きベースプレート 310×310×25hmm(ゴム足含む)
 ・プローバステージ用フレーム:アルミフレーム構造
■主排気用バルブ:ICF70手動アングルバルブ+ICF70/NW25変換ニップル

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』

取扱企業高真空加熱マイクロプローバ『HMP-100』

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