株式会社アイテス EELS分析手法による膜質評価

元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です!

当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。

EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで
元素同定を行う分析手法です。

「異なるカーボン膜」の事例では、状態分析が特長である
EELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行いました。

EDS分析ではスペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。

EELS分析では2つのSpectrumのショルダー形状が違うことから
有機膜に配合されているN,OとCの結合状態を比較することが可能です。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報EELS分析手法による膜質評価

【EELS分析とEDS分析との比較】
<EELS>
■分析に使用するパラメータ:エネルギー損失電子
■エネルギー分解能:1eV以下
■長所:状態分析軽元素分析(Li,B)
■短所:広範囲の元素を同時分析が困難
■測定時間:5s
■TEM試料厚:約50nm以下
<EDS>
■分析に使用するパラメータ:特性X線
■エネルギー分解能:100eV前後
■長所:全元素についての分析
■短所:近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難
■測定時間:30s
■TEM試料厚:約300nm以下

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カタログEELS分析手法による膜質評価

取扱企業EELS分析手法による膜質評価

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【解析・信頼性評価事業】  ■電子部品各種データ収集から故障解析までの解析・評価  ■研究開発・製造における原材料評価および特性評価 【検査装置開発事業】  ■太陽光パネル検査・測定器の開発・販売 【電子機器修理事業】  ■産業用機器およびパソコンの修理 【ウェハー加工事業】  ■ウェハー加工サービスおよび販売

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