薬液中の0.03μm粒子を測定 フッ化水素酸対応 インライン・バッチ対応
●最小可測粒径 0.03 μm
薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014 年2 月当社調べ)
●任意に粒径区分を設定可能
●0.03 ～ 0.13 μm の範囲で10 段階
●サファイアセル使用
基本情報パーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
光学方式：側方散乱方式
光源：半導体レーザ励起固体レーザ
粒径区分：0.03 μm～0.13 μm
定格流量 10 mL/min
計数効率 5 % ±1.5 %
最大粒子個数濃度 40 000個/mL（計数損失10 ％以内）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | KS-19F |
| 用途／実績例 | 最先端半導体製造工場の薬液供給プラントの送り Wet洗浄ラインの薬液管理 薬液製造メーカーの製造ライン・出荷検査ライン 等 |
カタログパーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
取扱企業パーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
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