計数効率を10 ％に向上 液中の0.05 μmを高感度に測定
純水～フッ酸まで
ウェハのあらゆる洗浄液の粒子数測定に
0.05μmから測定可能
基本情報パーティクルカウンター液中フッ酸対応0.05μm KS-18F
■ 測定粒径範囲：0.05 μm～0.2 μm (10粒径同時測定)
■ 測定粒径サイズはコントローラから任意設定
■ 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
■ セルにサファイアを使用
■ 粒径分解能を高める技術を採用（特許取得）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | KS-18F |
| 用途／実績例 | 半導体製造工場 Wet洗浄ライン 半導体製造工場 薬液受け入れ検査ライン 薬液製造メーカー 製造ライン、出荷検査ライン 等 |
カタログパーティクルカウンター液中フッ酸対応0.05μm KS-18F
取扱企業パーティクルカウンター液中フッ酸対応0.05μm KS-18F
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