エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部 マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709
- 最終更新日:2012-11-27 10:11:27.0
- 印刷用ページ
モデルU709シリーズは、腐食性の液体を7mL/minの低流量から〜1000mL/minの流量まで5種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。
間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間500msec、吐出量1mLからの液体を検出できます。
接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には1.8mのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。
基本情報マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709
モデルU709シリーズは、腐食性の液体を7mL/minの低流量から〜1000mL/minの流量まで5種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。
間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間500msec、吐出量1mLからの液体を検出できます。
接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には1.8mのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。
価格情報 | - |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709 |
用途/実績例 | 接液部材質 テフロン カルレッツ サファイヤに適合する液体。 ■間欠運転、連続運転の液体の計測 ■500msec/1mLサイクルの検出が可能 ■フォトレジスト液の吐出量の監視 ■粘度80cstまで対応 ■フッ酸やその他、酸ラインの測定 ■CMPスラリーラインの測定 ■純水の測定 ■ほとんど全ての低粘度液体の測定 など |
カタログマクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709
取扱企業マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709
-
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社では、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な要素の圧力と流量をテーマに、事業を展開しております。 特に圧力の測定においては、米国セトラシステムズ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内の産業界に供給しております。セトラシステムズ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、ゲージ圧・真空圧・差圧・連成圧・気圧のいろいろな測定モードに対応して、幅広い製品が、さまざまな用途に用意されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもBD社、ニッチセンサ社などの製品も扱っています。流量計測センサメーカはエクフロー社、ディグメサ社、マクミラン社の製品などを扱っています。 弊社では、これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計(マノエースシリーズ)の製造もおこなっています。 社内には、産業技術総合研究所の国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、高精度の検査を社内にて行うことができます。 【営業内容】 工業計測機器の輸入・製造・販売
マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。