ウシオライティング株式会社 マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。

基本情報マイクロデバイス製造関連装置

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。

【片面マスクアライナー】
本装置は、半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光好悪体に用いられます。研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。
光源は250kw〜5kw。露光サイズは200パイmmまで取り揃えております。


【オートアライナー装置】
本装置はカセットtoカセット搬送システムを搭載した、全自動全面一括露光装置です。
多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダー、アンローダー搬送システムを構築し、
生産量をアップします。


※詳細は、カタログをダウンロードの上、資料請求下さい。

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一般照明、特殊照明・ランプでは、LED電球・ライト、ステージ・スタジオ・演出照明用ランプから、検査・特殊照明用ランプ、投光器、赤外線ヒータ、セキュリティ用赤外線LED照明、植物育成用LED照明などにより、ユーザが必要とする「光」に対して、最適なランプ、光源で応えます。 産業システム・機器では、露光装置をはじめとする「光」を応用した製品、射出成形機、プラスチック関連機器・素材、継手、チューブなど広範なプラスチック関連製品、各種ロボット、自動組み立て機、ストローアプリケータ、外観検査装置などのFA・食品・包装関連システムの販売をつうじて、ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。

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