ブルーフォース株式会社
最終更新日:2020-02-26 16:42:37.0
アプリケーションノート/電子ビームリソグラフィでの能動補正
基本情報アプリケーションノート/電子ビームリソグラフィでの能動補正
シリコンチップ製造にて行われるリソグラフィ装置に!
シリコンチップ製造を電子ビームリソフグラフィにて行う際、磁場の影響を小さくするために磁気センサが使用された例です。
磁場・磁気計測 三軸フラックスゲート磁気センサー Mag-03
三軸フラックスゲートセンサー Mag-03は、DCから交流(3kHz以下)の磁場を3軸同時に測定します。
±70から±1000µTまでのフルスケールからお選びいただけます。
用途に応じて各種のエンクロージャーが用意されております。また低ノイズ型(6pT以下)もあります。
Mag-03MCは円柱型フラックスゲートセンサー、Mag-03MSは角型のフラックスゲートセンサーです。
【特徴】
○DCから交流の磁場を3軸同時に測定
○±70から±1000µTまでのフルスケールから選択可能
○用途に応じて各種用意
○低ノイズ型(6pT以下)もあり
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る)
Mag-03 汎用3軸磁気センサ - 使用事例資料公開中!
当カタログは、ロックゲート株式会社で取り扱っているBartington社製
のフラックスゲート磁気センサ『Mag-03』の製品ブローシャです。
海中、小スペース、真空等と様々な環境に対応するモデルがあります。
[特長]
・測定範囲: ±70~1000µT
・ノイズレベル: 低ノイズレベル<6pTrms(@1Hz)
・円筒型、3軸独立型、アンパッケージドタイプと様々な環境に対応。
・真空対応型、海中使用タイプと幅広い環境での使用に対応
(詳細を見る)
磁気センサ 製品カタログ - 使用事例資料公開中!!
当カタログは、ロックゲート株式会社で取り扱っているBartington社製の
磁気センサ、グラディオメーターなどの製品カタログです。
1軸フラックスゲート磁気センサ及び測定器をはじめ、伏角・偏角システムや
3軸フラックスゲート磁気センサなどを掲載しています。
[掲載製品]
・1軸フラックスゲート磁気センサ及び測定器
・ 伏角・偏角システム
・3軸フラックスゲート磁気センサ
・グラディオメーター
・電源ユニットやデータ収録ユニット (詳細を見る)
『Mag-13 3軸磁気センサ』 ※使用事例公開中!
【本製品が選ばれるポイント】
・1Hzにて最小<4pTrmsのノイズレベル。
・電気シールド付き、陸上タイプではIP67の規格。
・帯域幅: DCから3kHz(-3dB)。
・テストコイル、温度センサ内臓。
・角型、円筒型、アンパッケージド、海中タイプなど幅広いエンクロージャにより、幅広い条件に適応します。
・測定範囲は±60μTから±1000μTです。
※下記「PDFダウンロード」より、各種アプリケーション資料をご覧頂けます。 (詳細を見る)
取扱会社 アプリケーションノート/電子ビームリソグラフィでの能動補正
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