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最終更新日：2019-05-17 11:47:27.0

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パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

基本情報パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮

●5段階の粒子を同時に測定
0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上
●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min
●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能
●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現
●SiH4、SiHCl3、HBr、NH3、PH3、HClなどに対応

【総合カタログ】液中・気中 パーティクルカウンター

【総合カタログ】液中・気中 パーティクルカウンター 製品画像

リオン製、パーティクルカウンタの総合カタログです。 （詳細を見る）

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KC-24

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KC-24 製品画像

0.1 μm、 28.3 L/min。
スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に
国内製造・国内メンテナンス （詳細を見る）

パーティクルカウンター液中 0.04μm 純水 KL-30AX

パーティクルカウンター液中 0.04μm 純水 KL-30AX 製品画像

超純水プラントの送りにインライン設置
24時間モニタリング
プロセスラインへの供給する超純水のパーティクルを監視
国内製造・国内メンテナンス　信頼のリオン製品! （詳細を見る）

パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93 製品画像

半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能
国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器 （詳細を見る）

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KA-82

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KA-82 製品画像

クリーンルームの常時監視に最適 （詳細を見る）

パーティクルカウンター液中 40nm HF対応 KS-18FX

パーティクルカウンター液中 40nm HF対応 KS-18FX 製品画像

薬供ラインや薬液洗浄ラインでの微粒子数測定に
40nmを少量サンプルで測定 （詳細を見る）

取扱会社 パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

リオン株式会社

●「騒音計、振動計、地震計、周波数分析器、FFT分析器、粘度計」の製造・販売 ●「液中/気中 パーティクルカウンタ」の製造・販売

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