リオン株式会社
最終更新日:2019-05-17 11:56:49.0
パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.1μm KS-41B
基本情報パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.1μm KS-41B
レジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能 国内製造・国内メンテナンス パーティクルカウンターに絶対の自信!
測定粒径範囲:0.1 μm~0.5 μm (10段階同時測定)
測定対象液:レジスト、SOG等
パーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
●最小可測粒径 0.03 μm
薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径(2014 年2 月当社調べ)
●任意に粒径区分を設定可能
●0.03 ~ 0.13 μm の範囲で10 段階
●サファイアセル使用 (詳細を見る)
パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
液中パーティクルカウンター KS-41A
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定
国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制 (詳細を見る)
取扱会社 パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.1μm KS-41B
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