パーティクルカウンター 液中・純水用 0.04μm KL-30AX

リオン製、パーティクルカウンタの総合カタログです。 （詳細を見る）

ISO 21501-4(JIS B 9921)に適合。
基本性能を確保し、さまざまな清浄度管理に適します。
タッチパネル式の多機能なKC-52と、シンプルで低価格のKC-51の2器種を用意。
どちらも環境に優しい充電池（リチウムイオン電池）を使用しています。 （詳細を見る）

超純水プラントの送りにインライン設置
24時間モニタリング
プロセスラインへの供給する超純水のパーティクルを監視
国内製造・国内メンテナンス　信頼のリオン製品! （詳細を見る）

ウエットプロセスのパーティクル管理に最適
ポイントオブユース、インラインパーティクルモニタリングに多数の実績あり
国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制 （詳細を見る）

薬供プラントの送り Wet洗浄ラインの粒子管理に
0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する
インライン・多点モニタリングシステム用センサー
半導体工場、薬液製造工場に多数の実績あり （詳細を見る）

クリーンルームの常時監視に最適 （詳細を見る）

気中パーティクルカウンター 0.1μm対応
国内製造・国内メンテナンスで充実のサポート体制 （詳細を見る）

薬供ラインや薬液洗浄ラインでの微粒子数測定に
40nmを少量サンプルで測定 （詳細を見る）

半導体製造工場 純水プラント送りで粒子数モニタリング
プロセスラインの純水を常にクリーンな状態に （詳細を見る）

高計数効率0
0.1μm フォトレジスト溶液やSOG中の粒子数測定に
国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制! （詳細を見る）